Schellenberg, F. [. (2004). Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham. SPIE Press.
Citação norma ChicagoSchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. Washington: SPIE Press, 2004.
Citação norma MLASchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. SPIE Press, 2004.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.