Schellenberg, F. [. (2004). Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham. SPIE Press.
Chicago-tyylinen lähdeviittausSchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. Washington: SPIE Press, 2004.
MLA-viiteSchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. SPIE Press, 2004.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.