Schellenberg, F. [. (2004). Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham. SPIE Press.
Styl ChicagoSchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. Washington: SPIE Press, 2004.
Citace podle MLASchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. SPIE Press, 2004.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..