Micromanufacturing and nanotechnology

Библиографические подробности
Главный автор: Mahalik, N.P.[ed.] (ed.by)
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Germany Springer- Verlag 2006
Предметы:
Nanotechnology > Micro manufacturing > Microelectromechanical system (MEMS) > Micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) > (MEMS) > (MOEMS)
Описание
Объем:xiv, 468p.
ISBN:3-540-25377-7

Схожие документы