Micromanufacturing and nanotechnology

書誌詳細
第一著者: Mahalik, N.P.[ed.] (ed.by)
フォーマット: Printed Book
言語:English
出版事項: Germany Springer- Verlag 2006
主題:
Nanotechnology > Micro manufacturing > Microelectromechanical system (MEMS) > Micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) > (MEMS) > (MOEMS)
その他の書誌記述
物理的記述:xiv, 468p.
ISBN:3-540-25377-7

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