Micromanufacturing and nanotechnology

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mahalik, N.P.[ed.] (ed.by)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Germany Springer- Verlag 2006
Schlagworte:
Nanotechnology > Micro manufacturing > Microelectromechanical system (MEMS) > Micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) > (MEMS) > (MOEMS)
Beschreibung
Beschreibung:xiv, 468p.
ISBN:3-540-25377-7

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