Micromachines as tools for nanotechnology

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书目详细资料
主要作者: Fujita, H.
格式: Printed Book
语言:English
出版: New Delhi Springer 2004
主题:
Microtechnology > MEMS > Nanotechnology
实物特征
实物描述:xii, 212p.
ISBN:81-8128-202-7

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