Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hierlemann, Andreas
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York Springer 2005
Schlagworte:
Microsenor systems - Chemical > Chemical microsensor system > CMOS > Metal oxide semiconductor > Microelectromechanical systems

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Signatur: 621.3.049.77 HIE
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