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Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
New York
Springer
2005
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| Soggetti: |
| Descrizione del documento: | Microtechnology and MEMS |
|---|---|
| Descrizione fisica: | x, 229p. |
| ISBN: | 3-540-23782-8 |