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Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
Springer
2005
|
| Schlagworte: |
| Beschreibung: | Microtechnology and MEMS |
|---|---|
| Beschreibung: | x, 229p. |
| ISBN: | 3-540-23782-8 |