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Leach, R. (2014). Fundamental principles of engineering nanometrology (2nd ed.). Elsevier.

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Leach, Richard. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. 2nd ed. Amsterdam: Elsevier, 2014.

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Leach, Richard. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. 2nd ed. Elsevier, 2014.

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