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Plasma electronics. ed.2 :applications in microelectronic device fabrication
| Autor principal: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
London
CRC
2015
|
| Edição: | Second edition. |
| Assuntos: |
PHY
| Área/Cota: |
621.044 MAK |
|---|---|
| Cód. Barras: | Informação em tempo real indisponível |