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Plasma electronics. ed.2 :applications in microelectronic device fabrication

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Makabe, T.
Altri autori:	Petrović, Z.
Natura:	Printed Book
Lingua:	English
Pubblicazione:	London CRC 2015
Edizione:	Second edition.
Soggetti:	Plasma engineering

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