Загрузка...
Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies /
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Printed Book |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
New York :
Springer,
2009.
|
| Предметы: |
| Объем: | p. cm. |
|---|---|
| ISBN: | 9780387367989 |