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Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies /

書誌詳細
第一著者: El-Kareh, Badih
フォーマット: Printed Book
言語:English
出版事項: New York : Springer, 2009.
主題:
その他の書誌記述
物理的記述:p. cm.
ISBN:9780387367989