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Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies /
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | Printed Book |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
New York :
Springer,
2009.
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| 主題: |
| 物理的記述: | p. cm. |
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| ISBN: | 9780387367989 |