Lanean...

Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies /

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: El-Kareh, Badih
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: New York : Springer, 2009.
Gaiak:
Deskribapena
Deskribapen fisikoa:p. cm.
ISBN:9780387367989