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Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy
| Autor principal: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Cochin:
Cochin University of Science and Techonology,
2004.
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| Assuntos: |
PHY
| Área/Cota: |
PH. D |
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| Cód. Barras: | Informação em tempo real indisponível |