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Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Cochin:
Cochin University of Science and Techonology,
2004.
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| Soggetti: |
PHY
| Collocazione: |
PH. D |
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| Copia | Status in tempo reale non disponibile |