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Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Printed Book |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Cochin:
Cochin University of Science and Techonology,
2004.
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| Materias: |
PHY
| Número de Clasificación: |
PH. D |
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| Copia | Estatus de actividad no disponible |