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Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Paulraj, M.
Altri autori:	Vijayakumar, K. P (Guide)
Natura:	Printed Book
Lingua:	English
Pubblicazione:	Cochin: Cochin University of Science and Techonology, 2004.
Soggetti:	Thin film

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