Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Paulraj, M.
Otros Autores: Vijayakumar, K. P (Guide)
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Cochin: Cochin University of Science and Techonology, 2004.
Materias:
Thin film

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