Thin-film deposition : principles and practice /

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Smith, Donald L.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York : McGraw-Hill, c1995.
Schlagworte:
Thin films. > Vapor-plating. > Thin film devices.
Beschreibung
Beschreibung:xxiii, 616 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0070585024
0071139133 (International ed.)

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