Loading...

Journal of vacuum science & technology A: (quarterly) vacuum, surfaces and films

Bibliographic Details
Format: Printed Book
Language:English
Published: American Institute of Physics
LEADER 04763nam a22004457a 4500
005 20200810154504.0
008 100409t xxu||||| |||| 00| 0 eng d
082 |a 53 VST. 
245 |a Journal of vacuum science & technology A: (quarterly)  |b vacuum, surfaces and films 
942 |c BK  |6 _ 
260 |b American Institute of Physics 
999 |c 214541  |d 214541 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 1, 1983  |4 0  |6 53_VST11983  |7 0  |9 275493  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.1, 1983  |p phy010984  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 1, 1983  |4 0  |6 53_VST11983  |7 0  |9 275494  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.1, 1983  |p phy010986  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 1, 1983  |4 0  |6 53_VST11983  |7 0  |9 275495  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.1, 1983  |p phy010983  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 1, 1983  |4 0  |6 53_VST11983  |7 0  |9 275496  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.1, 1983  |p phy010985  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 2, 1984  |4 0  |6 53_VST21984  |7 0  |9 275497  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.2, 1984  |p phy010987  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 3B, 1985  |4 0  |6 53_VST3B1985  |7 0  |9 275498  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.3B, 1985  |p phy010987/  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 3, 1985  |4 0  |6 53_VST31985  |7 0  |9 275499  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.3, 1985  |p phy010992  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 5, 1987  |4 0  |6 53_VST51987  |7 0  |9 275500  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.5, 1987  |p phy012260  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 2, 1984  |4 0  |6 53_VST21984  |7 0  |9 275501  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.2, 1984  |p phy010989  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 3, 1985  |4 0  |6 53_VST31985  |7 0  |9 275502  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.3, 1985  |p phy010991  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 3, 1985  |4 0  |6 53_VST31985  |7 0  |9 275503  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.3, 1985  |p phy010990  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275504  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.4, 1986  |p phy010995  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275505  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.4, 1986  |p phy010997  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275506  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.4, 1986  |p phy010994  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 17, 1980  |4 0  |6 53_VST171980  |7 0  |9 275507  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.17, 1980  |p phy011001  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 17, 1980  |4 0  |6 53_VST171980  |7 0  |9 275508  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.17, 1980  |p phy010999  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 18, 1981  |4 0  |6 53_VST181981  |7 0  |9 275509  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.18, 1981  |p phy011003  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 18, 1981  |4 0  |6 53_VST181981  |7 0  |9 275510  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.18, 1981  |p phy011002  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 19, 1981  |4 0  |6 53_VST191981  |7 0  |9 275511  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.19, 1981  |p phy011005  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 19, 1981  |4 0  |6 53_VST191981  |7 0  |9 275512  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.19, 1981  |p phy011004  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 20, 1982  |4 0  |6 53_VST201982  |7 0  |9 275513  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.20, 1982  |p phy011007  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 20, 1982  |4 0  |6 53_VST201982  |7 0  |9 275514  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.20, 1982  |p phy011006  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 21, 1982  |4 0  |6 53_VST211982  |7 0  |9 275515  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.21, 1982  |p phy011009  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 21, 1982  |4 0  |6 53_VST211982  |7 0  |9 275516  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST.21, 1982  |p phy011008  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 2, 1984  |4 0  |6 53_VST21984  |7 0  |9 275517  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST. 2, 1984  |p phy010998  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275518  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST. 4, 1986  |p phy010994/  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275519  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST. 4, 1986  |p phy010993  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 bound volume v 4, 1986  |4 0  |6 53_VST41986  |7 0  |9 275520  |a PHY  |b PHY  |d 2010-04-09  |o 53 VST. 4, 1986  |p phy010988  |r 2018-05-17  |w 2018-05-17  |y REF