Lataa...
Ion implantation : basics to device fabrication /
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Printed Book |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Boston :
Kluwer Academic Publishers,
c1995.
|
| Sarja: | Kluwer international series in engineering and computer science ;
SECS 293. Kluwer international series in engineering and computer science. Electronic materials, science and technology. |
| Aiheet: |
PHY
| Hyllypaikka: |
621.3815/2 RIM |
|---|---|
| Nide | Reaaliaikaista tietoa ei saatavissa |