The science and engineering of microelectronic fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Campbell, Stephen A.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York : Oxford University Press, 1996.
Schlagworte:
Semiconductors > Design and construction

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Bestandesangaben von PHY
Signatur: 621.3815/2 CAM
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