Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Trích dẫn kiểu ChicagoCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
Trích dẫn MLACampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.