Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Chicago-стиль цитированияCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
MLA-цитированиеCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.