Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Chicago-tyylinen lähdeviittausCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
MLA-viiteCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.