Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
Styl ChicagoCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
Citace podle MLACampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..