Campbell, S. A. (1996). The science and engineering of microelectronic fabrication. Oxford University Press.
استشهاد بنمط شيكاغوCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 1996.
MLA استشهادCampbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, 1996.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.