Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: Boston : Academic Press, c1989.
الموضوعات:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

تفاصيل المقتنيات من PHY
رقم الطلب: 621.36/6 EHR
النسخة الحالة المباشرة غير متاحة

مواد مشابهة