Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: Boston : Academic Press, c1989.
Konular:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

Detaylı Erişim Bilgileri PHY
Yer Numarası: 621.36/6 EHR
Kopya Bilgisi Konumu erişilebilir değil.

Benzer Materyaller