Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Detalles Bibliográficos
Outros autores: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado: Boston : Academic Press, c1989.
Subjects:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

Detalle de Existencias desde PHY
Número de Clasificación: 621.36/6 EHR
Copia Live Status Unavailable

Títulos similares