Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: Boston : Academic Press, c1989.
Aiheet:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

Saatavuus: PHY
Hyllypaikka: 621.36/6 EHR
Nide Reaaliaikaista tietoa ei saatavissa

Samankaltaisia teoksia