Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston : Academic Press, c1989.
Schlagworte:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

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Signatur: 621.36/6 EHR
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