Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Boston : Academic Press, c1989.
Matèries:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

Detall dels fons de PHY
Signatura: 621.36/6 EHR
Còpia Comprovació en temps real no disponible

Ítems similars