Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: Boston : Academic Press, c1989.
Konular:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Benzer Materyaller