Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Bibliografiska uppgifter
Övriga upphovsmän: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: Boston : Academic Press, c1989.
Ämnen:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Beskrivning
Fysisk beskrivning:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Liknande verk