Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Библиографические подробности
Другие авторы: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Boston : Academic Press, c1989.
Предметы:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Описание
Объем:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Схожие документы