Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: Boston : Academic Press, c1989.
Onderwerpen:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Omschrijving
Fysieke beschrijving:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Gelijkaardige items