Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Dettagli Bibliografici
Altri autori: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Boston : Academic Press, c1989.
Soggetti:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Descrizione
Descrizione fisica:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

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