Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
פורמט: Printed Book
שפה:English
יצא לאור: Boston : Academic Press, c1989.
נושאים:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
תיאור
תיאור פיזי:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

פריטים דומים