Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Xehetasun bibliografikoak
Beste egile batzuk: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Boston : Academic Press, c1989.
Gaiak:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Deskribapena
Deskribapen fisikoa:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Antzeko izenburuak