Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Μορφή: Printed Book
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston : Academic Press, c1989.
Θέματα:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Παρόμοια τεκμήρια