Loading...

Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Bibliografiske detaljer
Andre forfattere: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Format: Printed Book
Sprog:English
Udgivet: Boston : Academic Press, c1989.
Fag:
Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302