Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Boston : Academic Press, c1989.
Matèries:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Descripció
Descripció física:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Ítems similars