Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: Boston : Academic Press, c1989.
الموضوعات:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
الوصف
وصف مادي:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ردمك:0122334302

مواد مشابهة