Ehrlich, D. J., & Tsao, J. Y. (1989). Laser microfabrication: Thin film processes and lithography. Academic Press.
Παραπομπή Chicago StyleEhrlich, Daniel J., και Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Boston: Academic Press, 1989.
Παραπομπή MLAEhrlich, Daniel J., και Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Academic Press, 1989.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.