Ehrlich, D. J., & Tsao, J. Y. (1989). Laser microfabrication: Thin film processes and lithography. Academic Press.
Trích dẫn kiểu ChicagoEhrlich, Daniel J., và Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Boston: Academic Press, 1989.
Trích dẫn MLAEhrlich, Daniel J., và Jeffrey Y. Tsao. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography. Academic Press, 1989.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.