Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. /

Библиографические подробности
Соавтор: United States. Air Force. Office of Scientific Research
Другие авторы: Osgood, R. M., ed, Brueck, S. R. J., ed, Schlossberg, H. R., ed
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: New York : North-Holland, c1983.
Серии:Material research society symposia proceedings; v. 17
Предметы:
Lasers--Industrial applications--Congresses. > Semiconductors--Congresses.
Описание
Примечание:"Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso.
Объем:xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0444007822

Схожие документы